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精密陶瓷在半导体中的应用
【摘要】：
半导体产业是构建我国战略科技力量的核心支撑产业，而半导体零部件则是决定我国半导体产业高质量发展的关键领域。一般而言，半导体设备零部件占设备总支出的70%左右，以刻蚀机为例，主要关键部件占设备总成本的85%。
那么，为什么半导体设备及零部件在半导体领域中如此重要？
半导体零部件是指在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等性能方面达到半导体设备及技术要求的零部件，如O型密封圈（O-Ring）、传送模块（EFEM）、射频电源（RFGen）、静电吸盘（ESC）、硅（Si）环等结构件、真空泵（Pump）、气体流量计（MFC）、精密轴承、气体喷淋头（ShowerHead）等。
首先，半导体设备是由成千上万个零部件组成，零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性，也是我国在半导体制造能力上向高端化跃升的关键基础要素。
另外，半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，而半导体设备的升级迭代很大程度上有赖于精密零部件的技术突破，各种半导体零部件相互配合，共同支持半导体设备的运转。
总之，半导体设备是半导体产业链的关键支撑，其技术的实施依赖于各种精密零部件，而精密零部件的材料与加工技术是集成电路核心技术的载体，是半导体产业的基石。
那么，按照半导体零部件的主要材料和使用功能来分，又可以将其分为十几大类，包括硅/碳化硅件、石英件、陶瓷件、金属件、石墨件、塑料件、真空件、密封件、过滤部件、运动部件、电控部件以及其他部件。
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